سیستم چگالش از فاز بخار شیمیایی (CVD)
سیستم چگالش از فاز بخار شیمیایی (CVD)
رشد شیمیایی از فاز بخار یکی از روش های پرکاربرد برای رشد نانو ساختارها مخصوصا نانو ساختارهای یک بعدی می باشد. در طی این فرآیند مواد در حالت بخار از طریق تراکم و واکنش شیمیایی در محیط گاز به حالت جامد بازگشته و روی یک زیرلایه، لایه نشانی می شوند. عموما هنگامی که جوانه زنی به صورت غیر همگن و روی یک زیرلایه باشد به آن رسوب دهی شیمیایی بخار (CVD) نیز می گویند. به طور کلی فرآیند رشد شیمیایی از فاز بخار در غالب های گوناگون انجام می شود که این فرآیند ها عموما در تهیه بخار ماده اولیه و روش هایی که باعث می شود واکنش شیمیایی آغاز شوند متفاوت میباشند. از جمله قابلیت های انواع مدل های سیستم چگالش از فاز بخار شیمیایی شرکت نانو شات می توان به موارد ذیل اشاره نمود:
- قابلیت سفارش به صورت تیوپی، چمدانی ثابت و چمدانی چرخشی
- دارای لوله کوارتز یا آلومینا با ضخامت بالا
- دارای سیستم خلا بالا با پمپ های روتاری، دیفیوژن و توربومولکولار به همراه اتصالات لازم
- قابلیت کار تحت دما ها و اتمسفر های مختلف به صورت یک، دو و یا سه ناحیه ای
- کنترل دقیق و مستقل دمای هر ناحیه به دلیل بیشترین حد نزدیکی ترموکوپل با آن
- دارای سیستم گازرسانی دقیق و مستقل شار برای چند گاز مختلف با استفاده از فلومتر های دستی و یا MFC
- دارای شیر های سوزنی و مخلوط کننده گاز ها پیش از ورود به محفظه واکنش
- دارای کلیه اتصالات مورد نیاز برای راه اندازی یک سیستم کاملCVD
تصویر SEM نمونه SnO2
تصویر SEM نمونه SnO2 سنتز شده با سیستم CVD نانو شات
در سال های اخیر تکنیک های رشد به طور نمایی افزایش یافته است. در میان روش های مختلف نانوساختارهای یک بعدی اکسید فلزی، روش CVD یکی از جذاب ترین کاندیداها است. از جمله ویژگی های تکنیک CVD می توان به موارد زیر اشاره نمود:
- قابلیت تولید مواد خالص و بسیار چگال
- تولید تکرارپذیری موادی که به خوبی به زیرلایه می چسبند
- آهنگ رشد سریع و عناصری با اشکال پیچیده
- قابلیت کنترل ساختار کریستالی، مورفولوژی سطح و جهت گیری نانوساختارها با کنترل پارامترهای فرآیند
- قیمت مقرون به صرفه
- تنوع بالا در به کار گرفتن پیش ماده های شیمیایی
- دماهای رشد نسبتا پایین
نقد و بررسی‌ها
هیچ دیدگاهی برای این محصول نوشته نشده است.