زبری سنجی سطوح و ارائه توپوگرافی سطح تا دقت ۲ میکرومتر

این دستگاه با استفاده از تکنولوژی لیـزر مثلثی به بررسـی رویه ا جـسام می پردازد. بـه این صـورت کـه با ترکیب لیزر، سیستم اپتیکی و سنـسور CCD فاصله سنسـور تا اجسام مشخص می شود.

نـرم افزار دستگاه به گونه ای طراحی شده است که برداشت داده ها با توجه به گام انتخابی انـجام می شود. گام های بین دو برداشت داده می تواند از ۳ میــــــکرومتر تا چند میــــلیمتر در هر جهت از دو محـور حرکتی انتخـاب شود. هر چه گـــام حرکتی کمتــر باشد جزئیات کاملتـر می شود امـا زمان بیشتری برای تکمیل روبـــش مورد نیاز است.

نـمونه مورد بررسـی بر روی استیج در یک راستـا حرکت می کند و سنسور نیز بر روی استیـج دیـگر به صورت عمود بر نمونه حرکت می نماید که ترکیب این دو حرکت می تواند سطح نمونه را روبش کند. با توجه به محدودیت مکانیکی دقت روبش یک میــکرومتـر است.